آنالیز SEM پرکاربردترین تجهیزات برای آنالیز سطح می باشد. میکروسکوپ SEM رایجترین نوع میکروسکوپ الکترونی است. این میکروسکوپ ریزساختارمواد را با روبش سطح توسط پرتو الکترونی بررسی میکند و مشابه میکروسکوپهای نوری، ولی با قدرت تفکیک بسیار بالاتر و عمق میدان بسیار بزرگتر، عمل میکند. شاید مهمترین ویژگی میکروسکوپ الکترونی روبشی، نمایش سه بعدی تصویرهای آن به دلیل عمق میدان بزرگ آن باشد. در مقایسه با میکروسکوپ الکترونی عبوری، کار با میکروسکوپ الکترونی روبشی و نگهداری آن تا حدودی آسانتر است. به علاوه، میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM با روشهای مختلفی شامل تجهیز شدن با طیف سنجی انتشاری انرژی پرتوایکس و طیف سنجی انتشاری طول موج پرتوایکس امکان دستیابی به اطلاعات شیمیایی نمونه را نیز فراهم میکند.
برای مشاهده دیگر مطالب مربوط به این آزمون روی لینک زیر کلیک کنید:
FESEM & TEM tests